半导体异质材料与器件中心

半导体异质材料与器件中心团队拥有一间260平米的千级洁净室，具有独立的外延生产设备和开发工艺。其中生产相关设备：八英寸晶圆的IV族/III-V族分子束外延联合系统，用于异质外延；具有八英寸扫描荧光光谱仪及八英寸的原子力显微镜，用于验证产品质量。